“目前,第四代同步辐射光源技术,已经有突破性进展了。”
“我们已经向科技部门提交了相关技术验证。”
“最迟……今年下半年,可能就需要投建第四代同步辐射装置,进一步验证SRF-FEL-EUV光刻厂项目。”
“……”
在同步辐射研究所。
李易了解到整个项目的核心:第四代同步辐射光源已经有突破性进展。
如此一来,想要真正研究和利用,要使用EUV光源制造7n制程以下的芯片。
就需要第四代同步辐射装置。
“建!”
“资金方面不用担心,今年研发投入中,不包含第四代同步辐射装置建设费用。”
“硬件设备的建设费用我另外出。”
“不过,我希望同步辐射装置,能不能建设在沅江市?”
李易提出了自己的一个要求。
当初他也跟夏科院这边说过,投建同步辐射装置,可以放在自己家乡。
钱不是问题!
其次,这个第四代同步辐射装置,带来的不仅仅是一个设备。
更是几十上百个世界顶尖实验室。
SRF-FEL-EUV光刻厂的核心,也是同步辐射装置。
李易去年5月回家,就跟家乡领导说过。
手里有正在投资研发保密项目的技术。
等到技术取得突破,会回家建厂。
依托SRF-FEL-EUV光刻厂的技术,建设晶圆厂。
SRF-FEL-EUV光刻厂,它只是芯片生产环节中的一环。
整个芯片生产环节有多个步骤。
依旧需要一个庞大的晶圆厂配套。
如果再加上同步辐射装置,需要1000多亩的土地储备。
仅仅同步辐射装置建设用地,就要900多亩。
搭配一个大型晶圆厂又要数百亩。
总计需要1000多亩。
这点土地,放在燕都这个时期,其实都没那么多土地储备。
但是在李易的家乡的沅江市……1000多亩?
这算是个事?
你要多少就给你批多少!
“我们会派人过去考察,因为同步辐射装置耗能非常高……不过,沅江市各方面资源似乎很丰富。”
“落地在沅江市问题应该不大。”
整个项目都是李易投资推进的。
如今取得了突破性进展。
建设第四代同步辐射装置。
放哪里基本都不会有太大区别。
只不过,放在燕都会方便很多。
无论是人才资源……还是各大顶尖企业、高校、实验室、研究所。
都可以轻松使用到第四代同步辐射装置。
应用到研究领域。
放在沅江市……作为一个小城市,人才储备、人才资源不够。
企业、高校、研究所、实验室,要使用同步辐射装置的光束线做研究,就需要派人过去。
在当地招人是比较难的。
不过,对于要用到同步辐射装置做实验和研究的机构。
也不差这点钱。
目前,除了第四代同步辐射装置取得了突破性进展。
已经在考虑建设第四代同步辐射装置。
利用同步辐射装置,加上SSMB技术尝试芯片光刻的技术研究,也有一定的进展。
目前,燕都这边使用的同步辐射装置,还没有那么先进。
但利用同步辐射装置+SSMB技术,对晶圆进行光刻,已经有一些进展。
只不过,要使用稳定、高精度的EUV光源,尝试7n以下的工艺太难。